УДК 621.793.14
Получена математическая модель скорости формирования металлического покрытия на внутренней поверхности полых изделий методом термического испарения в вакууме с соосно-расположенного стержневого испарителя. Проведена экспериментальная проверка результатов теоретических исследований.
A mathematical model of the rate of formation of a metal coating on the inner surface of hollow products by thermal evaporation in vacuum from a coaxially located rod evaporator is obtained. An experimental verification of the results of theoretical studies.
Ключевые слова: вакуумные покрытия, термическое испарение, скорость конденсации, математическая модель.
Key words: vacuum coatings, thermal evaporation, condensation rate, mathematical model.
1. Заявка № 58–42267 Японии, МКИ С23С 13/02. Способ нанесения покрытия на внутреннюю поверхность труб. 19.09.83.
2. Патент № 1487486 России, МКИ С23С 14/00. Устройство для нанесения покрытий на внутреннюю поверхность длинномерных изделий / В.И. Сидоренко, И.В. Штенников, А.Б. Яриков (Россия).–№ 4107792/24-21; Заявл. 04.06.86.
3. Мовчан, Б.А., Малашенко, И.С. Жаростойкие покрытия, осаждаемые в вакууме. / Под ред. Б.Е.Патона – Киев: Наукова думка, 1983.– 232с.
4. Бабад-Захряпин, А.А. Дефекты покрытий.– М.: Энергоатомиздат, 1987.–152с.
5. Сидоренко В.И., Штенников, И.В. К вопросу о слоистом строении вакуумных конденсатов хрома // Вестник ИжГТУ. 2007. – №1(33) – С. 50-53.
6. Технология тонких пленок. Справочник / под ред. Л.Майссела, Р. Глэнга. –М.: Сов.
Полный текст статьи доступен по ссылке.