ИССЛЕДОВАНИЕ ИНТЕГРАЛЬНОГО МАГНИТОЧУВСТВИТЕЛЬНОГО ДАТЧИКА ХОЛЛА С P-N ПЕРЕХОДАМИ МЕТОДОМ МОДЕЛИРОВАНИЯ В SENTAURUS TCAD

В.Н. Ануфриев, А.В. Козлов
(г. Москва, Национальный исследовательский университет «Московский институт электронной техники»)

Исследована новая конструкция датчика Холла средствами приборно-технологического моделирования Sentaurus TCAD. Указаны достоинства конструкции, исследовано влияние напряжения Холла от выбранных топологических размеров.

The article presents a study of the new design of the Hall sensor by means of device-technological modeling Sentaurus TCAD. The advantages of the design are indicated, the influence of the Hall voltage on the selected topological dimensions is investigated.

Ключевые слова: Synopsys Sentaurus TCAD, магнитная чувствительность, датчик Холла.

Keywords: Synopsys Sentaurus TCAD, magnetic sensitivity, Hall field sensor