Аннотация: в работе описан опыт использования приборного и технологического моделирования в программном пакете Sentaurus TCAD в учебном процессе в СПбГЭТУ «ЛЭТИ».
Annotation: device & technology modeling in Sentaurus TCAD experience in ETU educational process are described.
Ключевые слова: учебный процесс, проектирование электронной компонентной базы, проектирование технологических процессов
Keywords: educational process, electronic component base design, technological process design
Полный доклад доступен по ссылке.